时代芯存 半导体科普系列——集成电路设备供应商介绍



集成电路设备供应商介绍



       集成电路生产企业依靠设备供应商提供的机台进行生产,设备供应商是集成电路产业里非常重要的一个组成部分。根据美国的半导体行业调查公司VLSI Research发布的2019年全球半导体设备厂商的销售额排名调查,以晶圆制造设备厂商来看,均集中于少数欧美日本巨头企业,呈现寡头垄断局面。晶圆制造设备的光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备这三大类设备占据大部分的半导体设备市场。

营收资料来源:VLSI Research



1.美国Applied Materials(应用材料)

       美国的应用材料公司的市场规模从2007年开始就一直市占率据首位,该公司一直保持着领导地位。2019年应用材料的销售额达134亿美元。应用材料公司是材料工程解决方案的领导者。AMAT凭借在材料工程领域的技术专长,以及多年来在技术解决方案和人才培养方面的丰富经验,产品与服务已覆盖原子层沉积、物理气相沉积、化学气相沉积、刻蚀、快速热处理、离子注入、测量与检测、清洗等生产步骤。

       客户覆盖多家全球知名企业,包括三星电子、台积电、台联电、英特尔、中芯国际、海力士等厂商,都在大量采购和使用AMAT公司的设备、材料和服务。随着半导体产业转移至亚洲,AMAT已经连续多年成为全球最大晶圆代工厂台积电的最大供应商,2017年应用材料公司荣获英特尔公司首选优质供应商奖。



2.荷兰ASML(阿斯麦)

       ASML已经逐渐逼近应用材料的市场规模,据ASML财报数据,2019年ASML净销售额为118亿欧元,净收入为26亿欧元。据Statista研究部报道指出,截至2019年,ASML的大部分销售收入来自亚洲,为95亿欧元,而该公司在美国和欧洲、中东和非洲的销售收入分别为20亿欧元和3亿欧元。对于ASML而言,2019年是另一次增长之年,主要是由于对DUV和EUV的逻辑需求强劲,其EUV的订单量为62亿欧元,并见证了EUV在大批量生产中的采用。ASML致力于为客户提供整体光刻解决方案,主要有光刻机系统、应用组合两大产品,以光刻机系统为核心。ASML提供的光刻机有三大类,三大类代表的是光刻机技术的不断提高,从PAS 5500 到DUV再到EUV,最高可实现的制成节点从90nm到10nm到5nm。三类产品价格上也是不断提高,PAS5500是最具价格优势的系列,而 EUV光刻机的价格昂贵,单价到达1.2亿美元。除了光刻机系统,ASML还提供计量和检测系统、计算光刻和软件解决方案等应用组合。ASML通过丰富的产品类别和一流的技术水平占据全球近七成的光刻机市场。



3.日本Tokyo Electron(东京电子)

       东京电子2019年销售额为95.5亿美元,同比下滑12.5%。东电的产品几乎覆盖了半导体制造流程中的所有工序,主要产品包括:涂胶/显影设备、热处理成膜设备、干法刻蚀设备、沉积设备、清洗设备,封测设备。其中涂胶/显影设备在全球占有率达到87%。



4.美国Lam Research(泛林)

       2019年LAM的销售额与东京电子接近,都在95亿美元左右,下滑12.2%。对于半导体公司来说,LAM research是硅技术路线图的根本推动者,该公司专注于蚀刻,沉积和清洁市场。在过去的几年中,得益于3D NAND不断增加的层数,以及代工厂/逻辑向10/7纳米工艺节点的过渡,这需要更多的多个构图步骤,这些与垂直缩放相关的技术严重依赖于先进的蚀刻和沉积工具,Lam Research在蚀刻和沉积领域的份额不断增长。据悉,Lam有80%的收入和内存芯片有关(固态闪存和DRAM),LAM 的旗舰Kiyo,Flex和Versys产品主要出售给三星电子和台积电等主要客户。



5.美国KLA-Tencor(科天)

       KLA 2019年的销售额为46.6亿美元,相比去年增长了10%,相比第一梯队KLA的销售额为前四强的一半左右。不过在当今半导体检测设备市场格局中,KLA是全球绝对王者。据SEMI统计,KLA在晶圆制造的检测和测量市场中占比半、稳居行业第一,堪称半导体检测设备领域王者。

       2019年2月,KLA以约32亿美元的价格收购了以色列公司Orbotech。通过此次收购,KLA分散了收入基础,并在PCB,FPD,封装和半导体制造领域增加了25亿美元的潜在市场机会。



6.日本Screen Semiconductor Solutions

       在全球半导体清洗设备中具有较高占比的SCREEN的2019年销售额为22亿美元,比去年下降了1.2%。日本的SCREEN是世界上唯一生产线图像制版器材、电子原件制造设备的综合制造厂商,创立于1943年。



7.日本Hitachi High-Technologies(日立高科)

       在SEM测长等方面的设备中占有优势的日立高科2019年销售额为15.3亿美元。日立高科所提供的半导体制造设备主要有干蚀刻系统、CD-SEM和缺陷检查。



8.日本Nikon(尼康)

       从事曝光设备的尼康在2019年销售额达到12亿美元,相比2018年实现了翻倍增长,高达117.8%。尼康成立于1917年,最早通过相机和光学技术发家,1986年推出第一款FPD曝光设备,如今是曝光设备的第二供应商。



9.日本Kokusai Electric(国际电气)

       擅长于热处理等设备的国际电气(Kokusai electric)2019年销售业绩较去年下滑了23.5%。Kokusai专注于批处理或并行处理许多晶圆,特别是对于存储晶圆。据介绍,其主要客户包括三星电子公司,台湾半导体制造公司和英特尔公司。

       KOKUSAI ELECTRIC原本是日立国际电气,并与日立High Technology共同在日立集团下开展半导体设备的竞争。但是,随着日立制作所的业务集中、筛选,在2017年作为非核心业务被出售给了美国的私募基金Kohlberg Kravis Roberts(KKR),正式脱离日立集团。



参考资料来源:

1.VLSI Research

2.SEMI


刘纯峰

排版:张乐辰




2020年5月18日

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